[发明专利]一种铼带处理装置及方法有效
| 申请号： | 201811616809.1 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109632927B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 徐常昆;陈彦;李力力 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种铼带处理装置，包括：真空腔；真空系统，设置于真空腔外，与真空腔连通；碳源入口，设置于真空腔的壁上；碳源容器，设置于真空腔外，与碳源入口连通；导电馈入件，设置于真空腔内；电源，设置于真空腔外，与导电馈入件连接；任选地，一个或多个样品架，设置于真空腔内，与导电馈入件连接。本发明还提供一种铼带处理方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铼带处理装置，包括：真空腔；真空系统，设置于真空腔外，与真空腔连通；碳源入口，设置于真空腔的壁上；碳源容器，设置于真空腔外，与碳源入口连通；导电馈入件，设置于真空腔内；电源，设置于真空腔外，与导电馈入件连接；任选地，一个或多个样品架，设置于真空腔内，与导电馈入件连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国原子能科学研究院，未经中国原子能科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811616809.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
