[发明专利]基板载台在审
| 申请号： | 201811618939.9 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109746881A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 黄秋平 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/08 | 分类号： | B25H1/08;B05C13/02 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板载台，其包括载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体；这样在基板发生翘曲时，通过抚平构件将基板抚平，从而保证基板整体贴附在载台主体上，解决了基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 贴附 载台 基板发生翘曲 承载基板 基板弯曲 基板载台 基板整体 台本发明 弯曲区域 基板贴 台主体 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基板载台，其特征在于，包括；载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体。
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