[发明专利]阵列式太赫兹辐射源及其制造方法在审
| 申请号： | 201811621921.4 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109768382A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 阮存军;戴军;张幸运 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01Q1/38 | 分类号： | H01Q1/38;H01Q1/50;H01Q21/00;H01Q21/06;H01S1/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;李相雨 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开阵列式太赫兹辐射源及其制造方法。其中，所述阵列式太赫兹辐射源包括衬底和多个第一阵列单元，所述多个第一阵列单元在所述衬底上呈阵列排布，每个所述第一阵列单元包括天线、真空通道层和光阴极，所述天线包括馈电带和天线臂，所述馈电带和所述天线臂相连，所述馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。本发明实施例提供的阵列式太赫兹辐射源及其制造方法，提高了太赫兹辐射源的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空通道 太赫兹辐射源 光阴极 馈电 阵列式 阵列单元 天线臂 衬底 天线 制造 阵列排布 密封腔 基底 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种阵列式太赫兹辐射源，其特征在于，包括衬底和多个第一阵列单元，所述多个第一阵列单元在所述衬底上呈阵列排布，每个所述第一阵列单元包括天线、真空通道层和光阴极，其中：所述天线包括馈电带和天线臂，所述馈电带和所述天线臂相连，所述馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。
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