[发明专利]具有可移动平台的微机电装置有效
| 申请号： | 201811622508.X | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111377388B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;叶哲恺;郭秦辅;黄肇达 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;H04N23/68 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有可移动平台的微机电装置，包含基板、至少一固定座、平台、感测芯片以及至少一弹性元件。固定座设置于基板上。平台包含至少一电极与至少一导电连接层。感测芯片设置于平台上并且包含至少一电性互连元件，电性互连元件连接于平台的导电连接层。弹性元件连接平台与至少一固定座，其包含至少一第一电性通道、第二电性通道以及电性绝缘层。第一电性通道用以传递感测芯片产生的第一电性信号。电性绝缘层设置于第一电性通道及第二电性通道之间。第一电性通道电连接于电性互连元件，且第二电性通道电连接于电极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 平台 微机 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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