[发明专利]具有纳米复合结构界面势垒层的GeTe基温差电单体及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811623209.8 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN109778118B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 张丽丽;任保国;王泽深 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十八研究所
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/18;C23C14/35
代理公司: 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 代理人: 李凤
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种具有纳米复合结构界面势垒层的GeTe基温差电单体及其制备方法,在GeTe基温差电单体的两端有纳米复合结构界面势垒层。纳米复合结构界面势垒层厚度为1μm~3μm,势垒层为三层材料叠加:Mo—纳米C—Mo,各层材料厚度设计比例为Mo:纳米C:Mo=2:1:2。所述GeTe温差电单体分子式为GeTex(PbaMn1‑aTe)1‑x,其中x的取值范围为80%~95%,a的取值范围为60%~70%,百分比为原子百分比。分三层溅射,溅射过程实现纳米结构原位生长,溅射顺序为Mo—纳米C—Mo。本发明采用磁控溅射工艺进行微米级势垒层制作,显著减低界面势垒层厚度,提高单体有效高度;界面势垒层引入纳米结构,可有效提高集成界面质量,降低接触电阻。
搜索关键词: 具有 纳米 复合 结构 界面 势垒层 gete 温差 单体 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种具有纳米复合结构界面势垒层的GeTe基温差电单体,其特征在于,在GeTe基温差电单体的两端有纳米复合结构界面势垒层。
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