[发明专利]一种砷化镓抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201811626441.7 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109705737A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 伊观兰 | 申请（专利权）人： | 天津洙诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 301800 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种砷化镓抛光液，由以下重量份的原料制备而成：磨料20～40份、表面活性剂3～7份、螯合剂1～3份、PH值调节剂1～6份、保湿剂1～3份、去离子水30～50份，本发明的有益效果是：可实现对砷化镓的低应力、低损伤和超光滑加工，同时，在使用过程中成功的减少了水分的挥发，抑制了抛光液因水分蒸发而干燥结晶，另外，在制备时，原料经过两次搅拌和一次超声分散，能保证抛光液的一致性和原料的分散性能，最终制得的抛光液质量高，使用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 砷化镓 制备 磨料 表面活性剂 超光滑加工 超声分散 分散性能 干燥结晶 去离子水 水分蒸发 原料制备 保湿剂 低损伤 低应力 重量份 螯合剂 挥发 保证 成功 | ||
【主权项】：
1.一种砷化镓抛光液，其特征在于，由以下重量份的原料制备而成：磨料20～40份、表面活性剂3～7份、螯合剂1～3份、PH值调节剂1～6份、保湿剂1～3份、去离子水30～50份。
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