[发明专利]靶材的制作方法在审
| 申请号： | 201811629642.2 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111375881A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的制作方法包括：将靶坯与背板焊接，形成靶材；对所述靶材进行分段式降温。将所述靶坯与所述背板焊接形成靶材后，对所述靶材进行分段降温工艺，使得所述靶坯与所述背板由于快速降温过程中，减小膨胀系数较大的一方向膨胀系数较小的一方鼓起程度，从而减小所述靶材降温后的形变。 | ||
| 搜索关键词： | 制作方法 | ||
【主权项】：
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