[发明专利]一种鳍型场效应管在审
| 申请号： | 201811629777.9 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109524462A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 范谦;倪贤锋;何伟 | 申请（专利权）人： | 苏州汉骅半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/812;H01L29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种鳍型场效应管，其特征在于，包括：衬底、位于所述衬底上的缓冲层和位于所述缓冲层上的势垒层；位于所述势垒层上的源极、漏极和栅极，所述栅极位于所述源极和漏极之间；所述势垒层包括平行且间隔设置的多个鳍，所述鳍位于所述源极与漏极之间的区域且与所述栅极垂直；所述鳍的宽度(单位nm)为a1、a2、a3、a4、...、an，所述宽度为a1的鳍的数量为b1，所述宽度为a2的鳍的数量为b2，所述宽度为a3的鳍的数量为b3，依此类推，所述宽度为an的鳍的数量为bn，其中，a1、a2、a3、a4、...、an为10‑200之间的任意整数，b1、b2、b3、b4、...、bn为任意正整数。本申请所提出的鳍型场效应管，通过组合多种宽度的鳍，提高器件的线性度。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应管 势垒层 漏极 源极 鳍型 缓冲层 衬底 间隔设置 线性度 正整数 平行 垂直 申请 | ||
【主权项】：
1.一种鳍型场效应管，其特征在于，包括：衬底、位于所述衬底上的缓冲层和位于所述缓冲层上的势垒层；位于所述势垒层上的源极、漏极和栅极，所述栅极位于所述源极和漏极之间；所述势垒层包括平行且间隔设置的多个鳍，所述鳍位于所述源极与漏极之间的区域且与所述栅极垂直；所述鳍的宽度(单位nm)为a1、a2、a3、a4、...、an，所述宽度为a1的鳍的数量为b1，所述宽度为a2的鳍的数量为b2，所述宽度为a3的鳍的数量为b3，依此类推，所述宽度为an的鳍的数量为bn，其中，a1、a2、a3、a4、...、an为10‑200之间的任意整数，b1、b2、b3、b4、...、bn为任意正整数。
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