[发明专利]晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法

摘要

本发明公开了一种晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，包括步骤：获取所要监控的在线产品批次的基本信息并写入后台数据；根据历史跑货状况来更新各步预计作业时间；计算各步的预计结束时间；计算预计的纯DPML并计算归一化系数；对各步的预计作业用时进行归一化处理；更新各批次的预计工程时间；计算各预计作业总时间并调整形成调整后预计结束时间；获取实际作业相关时间；计算已跑过的各步的延迟时间；获取需去除延迟时间的各步的信息并计算扣除延迟时间；结合延迟时间，计算各步的含延迟预计结束时间。本发明能对跑货进度进行自动分析并实现准确预测，还能实现对可能的跑货阻碍站点进行提前预警。

主权项

1.一种晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、获取所要监控的在线产品批次的基本信息并写入后台数据；步骤二、根据历史跑货状况来更新各步预计作业时间；步骤三、根据各步的所述预计作业时间计算各步的预计结束时间；步骤四、计算预计的纯DPML，根据所述在线产品批次的类型计算归一化系数；步骤五、采用所述归一化系数对各步的所述预计作业时间进行归一化处理并形成各步对应的归一化预计作业时间；步骤六、更新各所述在线产品批次的各步的预计工程时间；步骤七、根据所述预计工程时间计算各所述在线产品批次的各步的预计作业总时间，所述预计作业总时间为所述预计工程时间加所述归一化预计作业时间，根据所述预计作业总时间调整各步的所述预计结束时间并形成调整后预计结束时间；步骤八、获取所要监控的所述在线产品批次的已经结束的各步的实际作业相关时间，所述实际作业相关时间包括实际结束时间、实际作业时间和实际工程时间；步骤九、计算所要监控的所述在线产品批次的已跑过的各步的延迟时间，延迟时间包括工程延迟时间、作业延迟时间、步延迟和总延迟；所述工程延迟时间为所述实际工程时间减去所述预计工程时间；所述作业延迟时间为所述实际作业时间减去所述归一化预计作业时间；所述步延迟为所述工程延迟时间加上所述作业延迟时间；所述总延迟为对应步的实际结束时间减去所述调整后预计结束时间；步骤十、获取需去除延迟时间的所述在线产品批次的各步的信息，根据步骤九计算的延迟时间计算在所述在线产品批次的各步中需要扣除的扣除延迟时间，所述扣除延迟时间为负值；步骤十一、结合所述扣除延迟时间，计算所述在线产品批次的各步的含延迟预计结束时间，实现对所述在线产品批次的跑货的预测；当前步对应的所述含延迟预计结束时间为前一步的结束时间加上当前步的含延迟预计作业总时间；当前步对应的所述含延迟预计作业总时间为所述预计作业总时间加所述扣除延迟时间。