[发明专利]一种柔性高原子序数材料透射电镜样品的制备方法有效
| 申请号： | 201811633119.7 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109374663B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 路超;赵雅文;孟宪东;张厚亮;廖益传;史鹏 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钟莹洁 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了柔性高原子序数材料透射电镜样品的制备方法，包括以下步骤：采用“H‑bar Lift‑out”工艺将所述柔性高原子序数材料的块体样品中制备区域取下的薄片样品放置于TEM实验用铜网柱上；利用聚焦离子束进行薄片样品的粗减薄，得到粗减薄薄片样品；利用聚焦离子束进行横向分区域选择性的薄片样品精减薄，得到由精减薄区与未精减薄的间隔区交替排布的精减薄薄片样品；利用聚焦离子束进行横向与纵向分区域选择性的薄片样品最终减薄，得到由最终减薄区与未精减薄的间隔区交替排布的柔性高原子序数材料透射电镜样品。本发明利用样品自身的自支撑效应，有效防止柔性材料样品因减薄到百纳米厚度以下而产生的变形，有利于表征分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 原子序数 材料 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性高原子序数材料透射电镜样品的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：A、采用“H‑bar Lift‑out”工艺将所述柔性高原子序数材料的块体样品中制备区域取下的薄片样品放置于TEM实验用铜网柱上；B、利用聚焦离子束进行薄片样品的粗减薄，得到粗减薄薄片样品；C、利用聚焦离子束进行横向分区域选择性的薄片样品精减薄，得到由精减薄区与未精减薄的间隔区交替排布的精减薄薄片样品；D、利用聚焦离子束进行横向与纵向分区域选择性的薄片样品最终减薄，得到由最终减薄区与未精减薄的间隔区交替排布的柔性高原子序数材料透射电镜样品。
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