[发明专利]一种可挠性基板加工处理方法在审

专利信息
申请号: 201811633908.0 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109786309A 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: 王士敏;周威云;邓移好;何春荣;古海裕;朱泽力;李文祥 申请(专利权)人: 深圳莱宝高科技股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;G06F3/041;G09F9/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供的可挠性基板加工处理方法,通过提供一与可挠性基板能够稳定结合,且具有固定可挠性基板不形变的衬底,同时,在可挠性基板与衬底的四周边缘设置一夹具,使得所述衬底与可挠性基板可以紧密结合,层间不会有气泡,可挠性基板也不会出现皱起、翘曲与偏移,保证精确固定可挠性基板的位置和避免可挠性基板发生形变,进而保障可挠性基板在设置电子元件时,不会出现位置偏移,影响电子元件的制造精度。
搜索关键词: 可挠性基板 衬底 形变 影响电子元件 夹具 四周边缘 位置偏移 偏移 层间 翘曲 制造 保证
【主权项】:
1.一种可挠性基板加工处理方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:提供一衬底(1)、一可挠性基板(2),所述衬底(1)具有相对设置的的第一表面(11)与第二表面(12),所述可挠性基板(2)具有相对设置的第三表面(21)与第四表面(22);S2:将所述可挠性基板(2)通过所述第一表面(11)、第三表面(21)与衬底(1)贴合,所述可挠性基板(2)的第三表面(21)结合于所述衬底(1)的第一表面(11)上;S3:提供一夹具;S4:使用所述夹具3对结合好的可挠性基板(2)与所述衬底(1)的四周边缘进行夹固处理,通过夹固所述衬1的第二表面(12)与所述可挠性基板(2)的第四表面(22)的边缘。
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