[发明专利]一种可挠性基板加工处理方法在审
申请号: | 201811633908.0 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109786309A | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 王士敏;周威云;邓移好;何春荣;古海裕;朱泽力;李文祥 | 申请(专利权)人: | 深圳莱宝高科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;G06F3/041;G09F9/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供的可挠性基板加工处理方法,通过提供一与可挠性基板能够稳定结合,且具有固定可挠性基板不形变的衬底,同时,在可挠性基板与衬底的四周边缘设置一夹具,使得所述衬底与可挠性基板可以紧密结合,层间不会有气泡,可挠性基板也不会出现皱起、翘曲与偏移,保证精确固定可挠性基板的位置和避免可挠性基板发生形变,进而保障可挠性基板在设置电子元件时,不会出现位置偏移,影响电子元件的制造精度。 | ||
搜索关键词: | 可挠性基板 衬底 形变 影响电子元件 夹具 四周边缘 位置偏移 偏移 层间 翘曲 制造 保证 | ||
【主权项】:
1.一种可挠性基板加工处理方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:提供一衬底(1)、一可挠性基板(2),所述衬底(1)具有相对设置的的第一表面(11)与第二表面(12),所述可挠性基板(2)具有相对设置的第三表面(21)与第四表面(22);S2:将所述可挠性基板(2)通过所述第一表面(11)、第三表面(21)与衬底(1)贴合,所述可挠性基板(2)的第三表面(21)结合于所述衬底(1)的第一表面(11)上;S3:提供一夹具;S4:使用所述夹具3对结合好的可挠性基板(2)与所述衬底(1)的四周边缘进行夹固处理,通过夹固所述衬1的第二表面(12)与所述可挠性基板(2)的第四表面(22)的边缘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳莱宝高科技股份有限公司,未经深圳莱宝高科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811633908.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:从器件基板剥离载体基板的方法和设备
- 下一篇:粘晶胶纸随晶粒分离的方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造