[发明专利]一种双向热电堆式薄膜热流计及热流测量方法

摘要

本发明公开一种双向热电堆式薄膜热流计及热流测量方法，以热电偶与被测面接近的面为感热面，与感热面相对的面为开放面，热电偶包括冷端和热端，冷端的感热面设置第一热阻层，冷端的开放面设置第二热阻层，热端的感热面设置第二热阻层，热端的开放面设置第一热阻层，使得热电偶的冷端两侧的总热阻与热电偶的热端两侧的总热阻相同。从功能上，此方法不会导致热流密度的差异，提高了热流密度的测量精度，并且根据相应的热流测量方法能够快速计算热流密度，通过热流密度数值的正负能更准确地判断热流方向。从工艺上，此方法避免了传统的热电偶冷热两端节点上下双层布置时的侧面引线以及腐蚀开孔难题，更利于工程实现。

主权项

1.一种双向热电堆式薄膜热流计，其特征在于，所述热流计溅射或贴合于被测面进行热流检测，所述热流计与所述被测面接近的面为感热面，与所述感热面相对的面为开放面；所述热流计包括热电偶、第一热阻层和第二热阻层，所述热电偶包括冷端和热端，所述冷端和所述热端并排设置，所述冷端的感热面设置所述第一热阻层，所述冷端的开放面设置所述第二热阻层，所述热端的感热面设置所述第二热阻层，所述热端的开放面设置所述第一热阻层。