[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示面板有效
| 申请号： | 201811635291.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109742151B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 十文字慎 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24;H01L29/06;H01L27/12;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 黄溪;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示面板，薄膜晶体管包括衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，栅极设置在所述衬底上，栅极绝缘层设置在栅极以及衬底之上，有源层覆盖部分栅极绝缘层，源极和漏极均设置在有源层和栅极绝缘层之上，有源层包括层叠设置的第一有源层和第二有源层，第二有源层与栅极绝缘层接触，第一有源层和第二有源层均为铟镓锌氧化物层，且第一有源层中铟、镓和锌的元素比例不相等，第一有源层中铟、镓和锌的元素比例和第二有源层中铟、镓和锌的元素比例不同。本发明能够提高器件的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制作方法 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
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