[发明专利]一种FOP表面微坑镀膜的致密性检测方法在审
| 申请号： | 201811638191.9 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109738469A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 李文涛;陈子天;郭素 | 申请（专利权）人： | 赛纳生物科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N23/2202;C12Q1/6869;C12M1/34;C12M1/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 肖佳 |
| 地址： | 100744 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种FOP表面微坑镀膜的致密性检测方法；将镀膜的FOP放入酸性刻蚀液中刻蚀；检测刻蚀穿孔。这种镀膜的检测方法可以筛选合适的应用于基因测序的FOP基片，消除本身元素的影响。本发明利用酸性刻蚀液，满足一定的条件的情况下，检测镀膜的致密性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 致密性 检测 酸性刻蚀液 刻蚀 微坑 基因测序 穿孔 放入 筛选 应用 | ||
【主权项】：
1.一种FOP表面微坑镀膜的致密性检测方法，包括，利用酸性刻蚀液刻蚀FOP表面，形成微坑结构；微坑结构所在表面镀二氧化硅薄膜；将镀膜的FOP放入酸性刻蚀液中刻蚀；检测刻蚀穿孔。
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