[发明专利]传感芯片及其制备方法、检测系统、检测方法有效
| 申请号： | 201811639340.3 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109856087B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 周一;吴翔;张树宇;费义艳;陈晨 | 申请（专利权）人： | 复旦大学;厦门复光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静;李丽 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种传感芯片及其制备方法、检测系统、检测方法，传感芯片包括：低折射率基底层，所述基底层的折射率小于石英的折射率；周期性波导光栅结构，位于所述基底层上，所述周期性波导光栅结构包括光栅脊、以及保形覆盖所述光栅脊和基底层的高折射率膜，其中，所述高折射率膜的折射率大于或等于1.8。本发明通过低折射率基底层和周期性波导光栅结构，且周期性波导光栅结构包括保形覆盖光栅脊和基底层的高折射率膜，从而使传感芯片能够同时具备高灵敏度和高Q值的特性，进而提高了传感芯片的品质因数。 | ||
| 搜索关键词： | 传感 芯片 及其 制备 方法 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种传感芯片，其特征在于，包括：低折射率基底层，所述基底层的折射率小于石英的折射率；周期性波导光栅结构，位于所述基底层上，所述周期性波导光栅结构包括光栅脊、以及保形覆盖所述光栅脊和基底层的高折射率膜，所述高折射率膜的折射率大于或等于1.8。
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