[发明专利]一种软X射线光源有效
| 申请号： | 201811640371.0 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111385951B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 刘炜;郑睿;谢庆国;肖鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞派宁科技有限公司 |
| 主分类号： | H05G1/02 | 分类号： | H05G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215163 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，真空靶室包括三通管和多通管，三通管具有相对的第一出口、第二出口和第三出口，第一出口与支撑板连接，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道以及工作气体管道分别穿过支撑板并与制冷腔连接，第三出口与抽真空装置连接；多通管包括相对的顶部开口和底部开口，顶部开口与第二出口紧密连接，底部开口处设置真空出口，喷嘴的位置与侧面开口对应，喷嘴下方设置有凹槽，凹槽通过转接头固定，转接头设置于真空出口处，凹槽与真空出口连通。本申请可以使得制冷腔保持高制冷性能，保持微液流的稳定性，提高软X射线的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 光源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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