[发明专利]一种扫描致动器、扫描驱动器及光纤扫描器

摘要

本发明公开了一种扫描致动器，包括致动器本体，致动器本体的前后两端分别为自由端和固定端，自由端相对于固定端沿至少一个垂直于前后方向的轴振动，所述的致动器本体内部和/或表面布设有至少一个质量变化区域，每个质量变化区域均沿前后方向延伸且贯穿致动器本体，致动器本体的各部位被垂直于前后方向的平面截得的截面上各质量变化区域的分布规律相同，质量变化区域内填充有固有频率系数大于或小于致动器本体的固有频率系数的材料。本发明还公开了采用该扫描致动器的扫描驱动器及光纤扫描器。本发明可以在不改变致动器本体长宽厚参数的前提下实现扫描致动器固有频率的增大或降低。