[发明专利]一种红外焦平面阵列芯片自动化测试设备有效
申请号: | 201811641556.3 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109712924B | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 戈锐;王鹏;黄强;刘宝龙;权五云;褚博 | 申请(专利权)人: | 哈工大机器人(山东)智能装备研究院 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 |
代理公司: | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人: | 张沫;周娇娇 |
地址: | 250200 山东省济南市章丘区明*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种红外焦平面阵列芯片自动化测试设备,包括:主机机体;测试工位系统,用于对待检测芯片进行测试;料盘自动上料装置,用于通过料盘盛放待检测芯片,并能将料盘从上料区a移动至待测区b;芯片机械手上料拾取装置,用于从料盘自动上料装置中抓取待检测芯片,并放置到测试工位系统上;料盘自动下料装置,用于盛放检测后芯片,并能将料盘从分拣区c移动至下料区d;芯片机械手分拣拾取装置,用于从测试工位系统上抓取检测后芯片,并放置到分拣区c处的料盘中;空料盘输送装置,用于将空料盘移动至料盘自动下料装置;控制系统。本发明通过自动化测试代替了人工劳作,不仅定位精准,并且能够大大提高测试效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外 平面 阵列 芯片 自动化 测试 设备 | ||
【主权项】:
1.一种红外焦平面阵列芯片自动化测试设备,其特征在于:包括:主机机体(100);测试工位系统(600),所述测试工位系统(600)用于对预定数量的待检测芯片进行测试;料盘自动上料装置(200),所述料盘自动上料装置(200)设置在所述主机机体(100)上,用于通过料盘盛放所述待检测芯片,并能够将盛满所述待检测芯片的所述料盘从上料区a移动至待测区b;芯片机械手上料拾取装置(300),所述芯片机械手上料拾取装置(300)用于从所述料盘自动上料装置(200)中位于所述待测区b的料盘中抓取预定数量的所述待检测芯片,并放置到所述测试工位系统(600)上进行测试;料盘自动下料装置(700),所述料盘自动下料装置(700)设置在所述主机机体(100)上,用于通过位于分拣区c处的料盘盛放检测后芯片,并能够将盛满所述检测后芯片的料盘从所述分拣区c移动至下料区d;芯片机械手分拣拾取装置(500),所述芯片机械手分拣拾取装置(500)用于从所述测试工位系统(600)上抓取检测后芯片,并放置到所述分拣区c处的料盘中;空料盘输送装置(400),所述空料盘输送装置(400)用于将所述料盘自动上料装置(200)待测区b处的空料盘移动至所述料盘自动下料装置(700)的分拣区c,用于盛放所述检测后芯片;控制系统,所述控制系统配置成对所述测试工位系统(600)、料盘自动上料装置(200)、芯片机械手上料拾取装置(300)、料盘自动下料装置(700)以及所述空料盘输送装置(400)进行控制。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造