[发明专利]一种红外焦平面阵列芯片自动化测试设备有效

专利信息
申请号: 201811641556.3 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109712924B 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 戈锐;王鹏;黄强;刘宝龙;权五云;褚博 申请(专利权)人: 哈工大机器人(山东)智能装备研究院
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687
代理公司: 北京格允知识产权代理有限公司 11609 代理人: 张沫;周娇娇
地址: 250200 山东省济南市章丘区明*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种红外焦平面阵列芯片自动化测试设备,包括:主机机体;测试工位系统,用于对待检测芯片进行测试;料盘自动上料装置,用于通过料盘盛放待检测芯片,并能将料盘从上料区a移动至待测区b;芯片机械手上料拾取装置,用于从料盘自动上料装置中抓取待检测芯片,并放置到测试工位系统上;料盘自动下料装置,用于盛放检测后芯片,并能将料盘从分拣区c移动至下料区d;芯片机械手分拣拾取装置,用于从测试工位系统上抓取检测后芯片,并放置到分拣区c处的料盘中;空料盘输送装置,用于将空料盘移动至料盘自动下料装置;控制系统。本发明通过自动化测试代替了人工劳作,不仅定位精准,并且能够大大提高测试效率。
搜索关键词: 一种 红外 平面 阵列 芯片 自动化 测试 设备
【主权项】:
1.一种红外焦平面阵列芯片自动化测试设备,其特征在于:包括:主机机体(100);测试工位系统(600),所述测试工位系统(600)用于对预定数量的待检测芯片进行测试;料盘自动上料装置(200),所述料盘自动上料装置(200)设置在所述主机机体(100)上,用于通过料盘盛放所述待检测芯片,并能够将盛满所述待检测芯片的所述料盘从上料区a移动至待测区b;芯片机械手上料拾取装置(300),所述芯片机械手上料拾取装置(300)用于从所述料盘自动上料装置(200)中位于所述待测区b的料盘中抓取预定数量的所述待检测芯片,并放置到所述测试工位系统(600)上进行测试;料盘自动下料装置(700),所述料盘自动下料装置(700)设置在所述主机机体(100)上,用于通过位于分拣区c处的料盘盛放检测后芯片,并能够将盛满所述检测后芯片的料盘从所述分拣区c移动至下料区d;芯片机械手分拣拾取装置(500),所述芯片机械手分拣拾取装置(500)用于从所述测试工位系统(600)上抓取检测后芯片,并放置到所述分拣区c处的料盘中;空料盘输送装置(400),所述空料盘输送装置(400)用于将所述料盘自动上料装置(200)待测区b处的空料盘移动至所述料盘自动下料装置(700)的分拣区c,用于盛放所述检测后芯片;控制系统,所述控制系统配置成对所述测试工位系统(600)、料盘自动上料装置(200)、芯片机械手上料拾取装置(300)、料盘自动下料装置(700)以及所述空料盘输送装置(400)进行控制。
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