[发明专利]一种纳米连接装置和纳米线连接方法有效
| 申请号： | 201811642315.0 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109665490B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 杨立军;王根旺;王扬;侯超剑;丁烨;赵春洋 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11473 | 代理人： | 闫冬;鞠永帅 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种纳米连接装置和纳米线连接方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米连接装置，包括：真空腔、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置、工控机和显示装置。本发明所述纳米线连接方法包括：获取纳米颗粒和纳米线均匀分布于硅片表面的基底，将所述基底固定于精定位样品台上；利用粗定位样品台和精定位样品台进行所述基底的定位；利用纳米操作装置进行所述纳米线的定位，然后利用纳米操作装置进行纳米颗粒的定位；采用近场光作为热源，进行不同所述纳米线之间的连接。本发明通过多功能的结构设计，辅助完成纳米线的连接，从各个方面来提高了纳米线的连接效率和连接质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 连接 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米连接装置，其特征在于，包括：真空腔(101)、电子束发射及调控模块(102)、电子束物镜(103)、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置(105)、工控机和显示装置(108)；所述纳米操作装置包括：精定位样品台(202)、精定位样品台(202)、第一运动机构(203)和第二运动机构(204)；所述近场光发生装置包括：光纤探针和AFM探针；其中，所述光纤探针与所述第一运动机构(203)相连，所述AFM探针与所述第二运动机构(204)相连，所述精定位样品台(202)与所述粗定位样品台(201)相连接，所述电子束物镜(103)、所述纳米操作装置均位于所述真空腔(101)内部，所述保护气体引入装置(105)和所述电子束发射及调控模块(102)分别与所述真空腔(101)相连接，所述电子束物镜(103)与所述电子束发射及调控模块(102)相连接，所述工控机适于所述真空腔(101)、所述电子束发射及调控模块(102)、所述电子束物镜(103)、所述纳米操作装置和所述保护气体引入装置(105)的控制，所述显示装置(108)适于显示所述真空腔(101)内设定的区域。
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