[发明专利]薄膜剥离工艺的配置方法及装置

摘要

本发明提供了一种薄膜剥离工艺的配置方法及装置。薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，上述配置方法包括：配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程；配置与刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息，第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的工艺流程。上述方法通过配置预加热工艺步骤的第一工艺信息以及刻蚀工艺步骤的第二工艺信息，将两个工艺步骤进行统一控制，从而将不同工艺槽工位的控制信息相互关系统一，将物料在工艺流程中经历的工位与控制信息关联到一起，实现了物料根据生产实际情况自动选择路径执行工艺的功能，使生产控制简单灵活。