[发明专利]一种类单晶硅铸锭炉的散热系统及方法在审
申请号: | 201811651383.3 | 申请日: | 2018-12-31 |
公开(公告)号: | CN109576786A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 霍焕金 | 申请(专利权)人: | 霍焕金 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00 |
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地址: | 116039 辽宁省大连市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种类单晶硅铸锭炉的散热系统及方法。该系统换热台包括上下两部分,上换热台和下换热台安装在铸锭炉下炉体中,下换热台由铸锭炉下炉体底部支撑柱支撑,安装在上换热台正下方;上换热台固定不动,下换热台能够上下移动;下换热台下部与冷却系统直接接触固定成一体结构;上换热台和下换热台分别设置有基座,所述基座上分散布设若干凸起,凸起的顶端设置有保温层,上换热台和下换热台的凸起相对设置且能够相互啮合;所述的上换热台和下换热台的基座上边缘处的凸起的高度小于中心区域的凸起的高度,使上换热台和下换热台的基座上的凸起相互啮合时中心区域散热速度大于边部区域,形成凸形的长晶界面,适应类单晶的生长。 | ||
搜索关键词: | 换热 凸起 铸锭炉 单晶硅 啮合 散热系统 中心区域 下炉体 边部区域 底部支撑 顶端设置 固定不动 冷却系统 上下移动 相对设置 一体结构 保温层 上边缘 柱支撑 布设 单晶 散热 凸形 生长 | ||
【主权项】:
1.一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,其换热台包括上下两部分,即换热台包括上换热台和下换热台,上换热台和下换热台安装在铸锭炉下炉体中,下换热台由铸锭炉下炉体底部支撑柱支撑,安装在上换热台正下方;上换热台固定不动,下换热台能够上下移动;下换热台下部与冷却系统直接接触固定成一体结构,下换热台上下移动时与冷却系统同时上下移动;上换热台和下换热台分别设置有基座,所述基座上分散布设若干凸起,凸起的顶端设置有保温层,上换热台和下换热台的凸起相对设置且能够相互啮合;所述的上换热台和下换热台的基座上边缘处的凸起的高度小于中心区域的凸起的高度,使上换热台和下换热台的基座上的凸起相互啮合时中心区域散热速度大于边部区域,起到散热或保温的作用。
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