[实用新型]等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

本实用新型提供了一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括清洁室、设于清洁室后侧且能与清洁室对接的沉积室及设于清洁室与所述沉积室之间的密封机构，清洁室及沉积室的真空排气口均通过歧管与真空泵连接，歧管与清洁室连接的支路上设有第一真空阀。本实用新型提供的等离子体增强化学气相沉积装置将沉积室的内腔与清洁室的内腔之间设置密封机构，将对沉积室的内腔及对清洁室的内腔进行抽真空的管路设置成歧管，在歧管支路上设置第一真空阀，在需要更换清洁组件时，只需将密封机构关闭，再将第一真空阀关闭，即可单独对清洁室的内腔进行增压后开启的操作，这样能使更换清洁组件的时间缩短到3小时左右，提高更换效率，进而提高整体的生产效率。

主权项

1.等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于：包括清洁室、设于所述清洁室后侧且能与所述清洁室对接的沉积室及设于所述清洁室与所述沉积室之间的密封机构，所述清洁室及所述沉积室的真空排气口均通过歧管与真空泵连接，所述歧管与所述清洁室连接的支路上设有第一真空阀。