[实用新型]一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统有效
申请号: | 201820025490.4 | 申请日: | 2018-01-06 |
公开(公告)号: | CN207685404U | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 徐国忠 | 申请(专利权)人: | 盐城市振弘电子材料厂 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统,它包括:炉体;升降组件,所述升降组件包括固定在所述炉体顶部的支撑板以及安装在所述支撑板上表面的多个气缸;拉制组件,所述拉制组件包括安装在多个所述气缸上的基板、安装在所述基板上表面的支撑座、设置于所述支撑座上方的转轴、安装在所述支撑座上且与所述转轴端部相连接的电机、一端卷绕在所述转轴上且另一端延伸至所述炉体内的提拉绳、安装在所述提拉绳另一端的仔晶杆以及安装在所述基板上表面且罩在所述转轴外的壳体。这样能够保证提拉绳的另一端位于液位以上的合适位置并带动仔晶杆向上运动,从而实现单晶棒的匀速生长。 | ||
搜索关键词: | 提拉绳 支撑座 转轴 基板上表面 铌酸锂单晶 升降组件 提拉系统 拉制 气缸 仔晶 生长 支撑板上表面 本实用新型 合适位置 炉体顶部 向上运动 转轴端部 组件包括 单晶棒 支撑板 基板 卷绕 壳体 炉体 液位 电机 体内 延伸 保证 | ||
【主权项】:
1.一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统,其特征在于,它包括:炉体(1);升降组件(3),所述升降组件(3)包括固定在所述炉体(1)顶部的支撑板(31)以及安装在所述支撑板(31)上表面的多个气缸(32);拉制组件(2),所述拉制组件(2)包括安装在多个所述气缸(32)上的基板(21)、安装在所述基板(21)上表面的支撑座(22)、设置于所述支撑座(22)上方的转轴(23)、安装在所述支撑座(22)上且与所述转轴(23)端部相连接的电机(24)、一端卷绕在所述转轴(23)上且另一端延伸至所述炉体(1)内的提拉绳(26)、安装在所述提拉绳(26)另一端的仔晶杆(27)以及安装在所述基板(21)上表面且罩在所述转轴(23)外的壳体(25)。
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