[实用新型]并行周向连续式类金刚石薄膜涂覆设备

摘要

本实用新型涉及一种并行周向连续式类金刚石薄膜涂覆设备，其包括类金刚石薄膜工艺腔体、回转腔体、进料系统、真空系统、物料车，类金刚石薄膜工艺腔体内设置有三组工艺组件密封板、周向分布的四组储料腔、回转装置、物料引导装置，物料传导装置、物料腔，进料系统设置有可开合的密封门板，真空系统分别对金刚石薄膜工艺腔体与回转腔体的组合体、进料系统进行真空处理，类金刚石薄膜工艺腔体内可形成独立真空室并独立进行类金刚石薄膜制备，回转装置可实现物料车的传动及自转，回转腔体内的物料腔可与储料腔及进料系统形成密封的独立真空室，进料系统可将物料取出及放入。采用上述方案，本实用新型可实现批量单挂物料并行连续式镀膜生产。

主权项

1.一种并行周向连续式类金刚石薄膜涂覆设备，其特征在于：包括类金刚石薄膜工艺腔体、回转腔体、进料系统、真空系统、物料车，类金刚石薄膜工艺腔体内设置有三组工艺组件密封板、周向分布的四组储料腔、回转装置、物料引导装置，回转腔体设置有回转伸缩装置、物料传导装置、物料腔，进料系统设置有可开合的密封门板，真空系统分别对类金刚石薄膜工艺腔体与回转腔体的组合体、进料系统进行真空处理，物料车上可装载树形单挂物料，类金刚石薄膜工艺腔体内可形成独立真空室并独立进行类金刚石薄膜制备，回转装置可实现物料车的传动及自转，回转腔体内的物料腔可与储料腔及进料系统形成密封的独立真空室并实现物料车传导，进料系统可将物料取出及放入，所述的类金刚石薄膜工艺腔体内设置有三组工艺组件密封板、周向分布的四组储料腔、回转装置、物料引导装置，三组所述的工艺组件密封板装配有气相沉积工艺模块，并可与与之相对的储料腔形成独立的工艺真空室，每组工艺真空室的功能不同,分别为离子清洗模块、过渡涂层模块、类金刚石薄膜沉积模块，从而独立进行相应的气相沉积类金刚石薄膜制备，四组所述的储料腔装配在回转装置上，所述回转装置可实现储料腔的公转及储物腔内的物料车自转，所述物料引导装置装配在储料腔内，通过气缸伸展推动，可实现物料车在类金刚石薄膜工艺腔体及回转腔体之间传导。