[实用新型]一种节能高效型黑硅生产装置

摘要

本实用新型公开了一种节能高效型黑硅生产装置，包括喷雾室和喷雾发生装置，所述喷雾室的两侧均设置有一个喷雾发生装置，分别为第一喷雾发生装置和第二喷雾发生装置，所述第一喷雾发生装置和第二喷雾发生装置上端的喷雾口均通过喷雾管连接有喷雾总管，所述喷雾总管的一侧间隔均匀的设置有若干喷雾头，所述第一喷雾发生装置和第二喷雾发生装置处喷雾总管通过连接管相连通；采用两步法刻蚀黑硅，并且将硝酸银和氢氟酸、过氧化氢混合液雾化，采用喷雾的形式对黑硅进行处理，能够节省硝酸银、氢氟酸和过氧化氢的用量；并且喷雾室内设置有多个放置板，每个放置板内设置多个放置槽，能够一次性完成多个黑硅的处理，大大提高生产的效率。

主权项

1.一种节能高效型黑硅生产装置，包括喷雾室(1)和喷雾发生装置，其特征在于，所述喷雾室(1)内侧壁的两端均设置有若干组滑槽(2)，所述滑槽(2)内滑动设置有放置板(3)，所述放置板(3)的上端设置有多个放置槽(4)，所述放置槽(4)的四个边角处均设置有垫块(5)，所述喷雾室(1)的两侧均设置有一个喷雾发生装置，分别为第一喷雾发生装置(6)和第二喷雾发生装置(7)，所述第一喷雾发生装置(6)和第二喷雾发生装置(7)上端的喷雾口均通过喷雾管(8)连接有喷雾总管(9)，所述喷雾总管(9)设置于喷雾室(1)的内侧壁中，且所述喷雾总管(9)的一侧间隔均匀的设置有若干喷雾头(10)，所述喷雾头(10)贯穿喷雾室(1)的侧壁设置于喷雾室(1)的内部，所述第一喷雾发生装置(6)和第二喷雾发生装置(7)处喷雾总管(9)通过连接管(11)相连通，所述喷雾室(1)的顶端设置有吹风机(12)，所述吹风机(12)的输出端通过输风管(13)连通连接管(11)，所述喷雾室(1)的底端设置有抽风机(14)，所述抽风机(14)的输入端连接抽风口(15)，所述抽风机(14)的输出端通过输气管(16)连接有第一回收箱(17)，且所述输气管(16)连接有输气支管(18)，所述输气支管(18)连接有第二回收箱(19)，所述喷雾室(1)的外侧壁上设置有控制器(20)。