[实用新型]一种超高真空排气台

摘要

本实用新型公开了一种超高真空排气台，包括离子泵、箱体、真空室、载物室和加热室，所述箱体内部底部设有加热室，所述加热室位置处的箱体的内侧安装有两个驱动电机，所述加热室上方的箱体的内部设有载物室，所述载物室上方的箱体内部设有真空室，所述真空管位置处的箱体顶部安装有第二真空计，所述真空管远离真空室的一端安装有离子泵，所述箱体远离第一真空计的一侧安装有控制器。本实用新型通过在加热室位置处的箱体的内侧安装两个驱动电机，且驱动电机的输出端皆安装转轴，并在转轴远离驱动电机的一端延伸至加热室的内部，且转轴上均匀设有风叶，通过电机带动转轴上的风叶转动，便于对加热室热量进行搅拌，使工件均匀受热。

主权项

1.一种超高真空排气台，包括离子泵(8)、箱体(10)、真空室(11)、载物室(13)和加热室(15)，其特征在于：所述箱体(10)内部底部设有加热室(15)，且加热室(15)的内壁上设有聚氨酯保温层(14)，所述箱体(10)的底部均匀安装有防火管(3)，且防火管(3)的一端延伸至加热室(15)内部，所述防火管(3)的另一端安装有点火嘴(17)，且防火管(3)靠近点火嘴(17)的一端通过燃气管(2)连接有燃气管道(1)，所述加热室(15)位置处的箱体(10)的内侧安装有两个驱动电机(19)，且驱动电机(19)的输出端皆安装有转轴(21)，所述转轴(21)远离驱动电机(19)的一端延伸至加热室(15)的内部，且转轴(21)上均匀设有风叶(20)，所述加热室(15)上方的箱体(10)的内部设有载物室(13)，且载物室(13)的底部铰接有门体(4)，所述载物室(13)上方的箱体(10)内部设有真空室(11)，且真空室(11)的底部均匀设有尾管座(12)，所述尾管座(12)的一端延伸至载物室(13)内部，所述真空室(11)位置处的箱体(10)外侧安装有第一真空计(6)，且真空室(11)顶部的中间位置处连接有真空管(7)，所述真空管(7)位置处的箱体(10)顶部安装有第二真空计(9)，所述真空管(7)远离真空室(11)的一端安装有离子泵(8)，所述箱体(10)远离第一真空计(6)的一侧安装有控制器(16)。