[实用新型]曝光设备有效
申请号: | 201820041264.5 | 申请日: | 2018-01-10 |
公开(公告)号: | CN207867214U | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 褚恒岩;钟明云 | 申请(专利权)人: | 江西联创电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
地址: | 330096 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种曝光设备,包括机架、设于机架的初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、机械手及电控系统,机架侧边设有入料口,初定位夹具临近所述入料口设置并夹持从入料口投入的治具,待曝光产品放置于治具上,机械手在初定位夹具与曝光台之间运输治具,曝光台在机架内移动并将治具上的待曝光产品运输至曝光灯处曝光,所述初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、及机械手均电连接所述电控系统;所述初定位夹具包括一对齐结构,使得放置有待曝光产品的治具在其放置平面内的XY方向对齐。本实用新型减少了治具在定位过程中的误差,提高定位精度,保证了屏幕玻璃产品生产的良率。 | ||
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【主权项】:
1.一种曝光设备,包括机架、设于机架的初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、机械手及电控系统,机架侧边设有入料口,初定位夹具临近所述入料口设置并夹持从入料口投入的治具,待曝光产品放置于治具上,机械手在初定位夹具与曝光台之间运输治具,曝光台在机架内移动并将治具上的待曝光产品运输至曝光灯处曝光,所述初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、及机械手均电连接所述电控系统;其特征在于,所述初定位夹具包括一对齐结构,使得放置有待曝光产品的治具在其放置平面内的XY方向对齐。
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