[实用新型]一种腔体门打开装置有效
| 申请号： | 201820052043.8 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN207933524U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 黎微明;李翔;胡彬;左敏 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种腔体门打开装置，腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座上设置的线轨上升降。采用本实用新型的技术方案的有益效果为伸缩气缸进行伸缩实现开门和关门动作，运行平稳，且有缓冲装置；有电机实现上下移动，露出腔的进口，可以运行较重的门；由于是电控，每次运行的位置稳定，一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 推拉装置 腔体门 本实用新型 门打开装置 升降装置 腔体 种腔 关门动作 缓冲装置 上下移动 伸缩气缸 位置稳定 一致性好 门洞 伸缩 电控 拉回 线轨 底座 电机 开门 推开 进口 | ||
【主权项】：
1.一种腔体门打开装置，其特征在于：腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座设置的线轨上升降。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
