[实用新型]颗粒捕捉器有效
申请号: | 201820059666.8 | 申请日: | 2018-01-15 |
公开(公告)号: | CN208130712U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 黎微明;李翔;胡彬;左敏 | 申请(专利权)人: | 江苏微导纳米装备科技有限公司 |
主分类号: | B01D46/24 | 分类号: | B01D46/24 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 朱少华 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种颗粒捕捉器,其由捕捉器壳体(1)、捕捉器盖(2)、导流器外壳(3)、导流器(4)以及滤芯(5);所述导流器外壳(3)内设有导流器(4),所述导流器(4)外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片,其导流器外壳,捕捉导流器,滤芯都装在捕捉器壳体里,然后盖上捕捉器盖,组成一个完整的密封的颗粒捕捉器整体,在捕捉器的盖上有气体的进气口和出气口,这样的设计主要是增加被抽出的含TMA(三甲基铝)气体在颗粒捕捉器内的时间,同时,对颗粒捕捉器内释放少量空气,使空气里的水分和被抽进来的TMA充分反应,生成氧化铝粉末颗粒,吸附在颗粒捕捉器的内壁上,减少对出气口的抽气的真空泵的污染。 | ||
搜索关键词: | 导流器 颗粒捕捉器 捕捉器 捕捉器壳体 出气口 滤芯 进气口 氧化铝粉末颗粒 本实用新型 螺旋叶片 气体行程 三甲基铝 真空泵 抽气 内壁 吸附 密封 抽出 捕捉 释放 污染 | ||
【主权项】:
1.颗粒捕捉器,其特征在于:其包括捕捉器壳体(1)、捕捉器盖(2)、导流器外壳(3)、导流器(4)以及滤芯(5);所述导流器外壳(3)内设有导流器(4),所述导流器(4)外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片,导流器外壳(3)上设有供气体流通的小孔。
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