[实用新型]一种利用薄膜沉积技术制作的超薄线圈

摘要

本实用新型公开了一种利用薄膜沉积技术制作的超薄线圈，属于检测或产生电磁信号的超薄线圈制作技术，而利用该薄膜沉积技术制作的超薄线圈厚度可达微米量级，包括线径与线圈整体厚度都可在微米量级，其结构主要是由绝缘基底和导电薄膜等构成，具体是在绝缘基底表面沉积导电薄膜后逐层卷绕呈圆环状，该超薄线圈具有沿圆环状的轴向切割而成的矩形横截面，该矩形的横截面由在内的绝缘基底和在外的导电薄膜交替分布构成，且绝缘基底和导电薄膜的截面也为矩形，这种超薄线圈的矩形横截面与传统漆包线的圆形横截面截然不同，消除了传统圆形截面产生的空隙，线圈均匀性有较大提高，导电层与导电层之间可通过绝缘基底安全隔离，使用性能也更加卓越。

主权项

1.一种利用薄膜沉积技术制作的超薄线圈，包括绝缘基底（1），其特征在于所述的绝缘基底（1）表面沉积导电薄膜（2）后逐层卷绕呈圆环状，该超薄线圈具有沿圆环状的轴向切割而成的矩形横截面，该矩形横截面由在内的绝缘基底（1）和在外的导电薄膜（2）交替分布构成，且绝缘基底（1）和导电薄膜（2）的截面也为矩形。