[实用新型]一种用于还原尾气高纯硅粉收集器

摘要

本实用新型公开了一种用于还原尾气高纯硅粉收集器，具有罐体，罐体上设有进气管、旋风分离器和气体出口，所述罐体为圆柱体结构且为收集器主体，所述的进气管设于罐体的顶部，进气管的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器连通；旋风分离器设于罐体内部且具有多个，每个旋风分离器的上部都与所述进气管连通，旋风分离器围绕罐体中心环形均匀布置，旋风分离器内部具有螺旋形的流道使得气体产生螺旋形流向，旋风分离器的下端设有翼阀。本实用新型的优点：维护成本低，还可以回收高纯硅粉，用于氮化硅厂家原料，而且，高纯硅粉收集后，进入下游的硅粉量极大降低，可有效保护下游设备的免受磨损、堵塞，对下游的平稳运行，起了很好的保障作用。

主权项

1.一种用于还原尾气高纯硅粉收集器，具有罐体(1)，其特征在于，所述罐体上设有进气管(2)、旋风分离器(3)和气体出口(6)，所述罐体(1)为圆柱体结构且为收集器主体，所述的进气管(2)设于罐体(1)的顶部，进气管的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器(3)连通；旋风分离器设于罐体内部且具有多个，每个旋风分离器的上部都与所述进气管连通，旋风分离器围绕罐体中心环形均匀布置，旋风分离器内部具有螺旋形的流道使得气体产生螺旋形流向，旋风分离器的下端设有翼阀(7)。