[实用新型]一种切割机防反向拿取装置有效
申请号: | 201820074059.9 | 申请日: | 2018-01-17 |
公开(公告)号: | CN207841795U | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 聂伟;陈志远;孟强;吴秋明;王坤 | 申请(专利权)人: | 江苏汇成光电有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;H01L21/67 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
地址: | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了晶圆切割加工领域内的一种切割机防反向拿取装置,包括切割机,切割机上一体设置有工作台,工作台位于切割机前侧,工作台上放置有晶圆盒,所述工作台的左右两侧均设置有挡板,两挡板平行设置,两个挡板之间设有可转动的驱动轴,驱动轴与挡板相垂直,驱动轴中部固定连接有摆动杆,摆动杆的端部一体设置有固定轴,固定轴与摆动杆相垂直,固定轴上转动连接有推动辊,推动辊与晶圆盒相对应设置,所述工作台的前方对应设置有输送机构。本实用新型能够避免工作人员从侧面反方向拿取晶圆盒,导致晶圆掉落并撞坏,可以保护晶圆产品。 | ||
搜索关键词: | 切割机 挡板 工作台 摆动杆 固定轴 晶圆盒 驱动轴 本实用新型 拿取装置 一体设置 推动辊 垂直 晶圆产品 晶圆切割 平行设置 输送机构 转动连接 左右两侧 反方向 可转动 掉落 晶圆 拿取 切割 侧面 加工 | ||
【主权项】:
1.一种切割机防反向拿取装置,包括切割机,切割机上一体设置有工作台,工作台位于切割机前侧,工作台上放置有晶圆盒,其特征在于,所述工作台的左右两侧均设置有挡板,两挡板平行设置,两个挡板之间设有可转动的驱动轴,驱动轴与挡板相垂直,驱动轴中部固定连接有摆动杆,摆动杆的端部一体设置有固定轴,固定轴与摆动杆相垂直,固定轴上转动连接有推动辊,推动辊与晶圆盒相对应设置,所述工作台的前方对应设置有输送机构。
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