[实用新型]用于单晶硅棒的对中检测机构有效
| 申请号： | 201820082353.4 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN207972154U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;徐开涛;谢永旭;卢嘉彬;沈文杰;李林;朱亮 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工技术，旨在提供一种用于单晶硅棒的对中检测机构。包括固定在底座上的竖向安装支架，设有竖向且平行的主刻度尺和导轨；导轨上活动安装两个滑座，均固定装有横杆导向块，检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移；两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座，固定装有副刻度尺且与主刻度尺相邻；竖向左右旋梯形丝杆的一端设驱动机构，梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座，两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内，副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。本实用新型检测结果准确，可靠；调整硅棒时可以及时检测，拆卸方便，提高了生产效率；结构简单，操作简便，成本较低，可以节省大量的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 梯形丝杆 滑座 安装座 横杆 导轨 副尺 本实用新型 单晶硅棒 活动安装 主刻度尺 导向块 竖向 半导体加工技术 水平方向位移 拆卸方便 反向螺纹 副刻度尺 检测结果 驱动机构 生产效率 竖向安装 无螺纹 检测 硅棒 滑槽 两段 支架 底座 嵌入 生产成本 平行 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种用于单晶硅棒的对中检测机构，包括固定在底座上的竖向的安装支架；其特征在于，在安装支架上设有竖向且平行的主刻度尺和导轨；导轨上活动安装两个滑座，各滑座上均固定装有横杆导向块，检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移；两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座，副刻度尺固定在副尺安装座上且与主刻度尺相邻；该机构还包括一个竖向的左右旋梯形丝杆，其一端设驱动机构；梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座，两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内，副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。
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