[实用新型]具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备有效
| 申请号： | 201820087499.8 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN207909842U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 虞凯;季九江;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备，在抛粗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与镀银槽之间、挖孔槽与脱银槽之间、脱银槽与酸洗槽之间、扩孔槽与碱洗槽之间、碱洗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与慢提槽之间均设置有清水槽，在挂钩进入每个工艺槽之后，增加一个洗钩动作，保持挂钩的清洁，避免了槽体与槽体之间因为挂钩传输引起的污染。本实用新型具有完善的工艺流程，工艺的严谨性，杜绝了因为挂钩问题引起的酸碱接触，污染槽体，在实际过程中做到真正意义上的酸碱隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 酸洗槽 挂钩 本实用新型 清洗设备 机械臂 碱洗槽 槽体 钩槽 黑硅 酸碱 脱银 实际过程 工艺流程 镀银槽 工艺槽 扩孔槽 清水槽 污染槽 粗槽 提槽 挖孔 隔离 传输 清洁 污染 | ||
【主权项】：
1.一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备，包括机械臂和依次设置的抛粗槽、酸洗槽、镀银槽、挖孔槽、脱银槽、酸洗槽、扩孔槽、碱洗槽、酸洗槽、慢提槽、烘干槽，其特征在于：所述抛粗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与镀银槽之间、挖孔槽与脱银槽之间、脱银槽与酸洗槽之间、扩孔槽与碱洗槽之间、碱洗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与慢提槽之间均设置有清水槽，机械臂在清洗槽内进行洗钩。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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