[实用新型]一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组有效
| 申请号： | 201820095753.9 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207830240U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/04 | 分类号： | F04F9/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空热处理设备扩散泵维持泵真空机组，真空机组包括扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组，所述扩散泵出气口通过三通管路件连接系统阀抽气口和维持阀抽气口；所述维持阀出气口通过真空管道与维持泵抽气口连接；所述前级泵组抽气口设置有三通真空管路，分别与前级泵组抽气口、预抽阀出气口和系统阀出气口连接；所述扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组连接工控系统。本实用新型设计合理，设备运行的成本降低。这样在不开启前级泵组的情况下，可以单独对扩散泵进行抽真空，大大降低了能耗，提高了生产效率，实用性强，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散泵 前级泵 抽气口 本实用新型 阀出气口 真空阀门 真空机组 出气口 真空热处理设备 真空热处理炉 工控系统 连接系统 三通管路 设备运行 生产效率 真空管道 真空管路 泵抽气 泵机组 抽真空 系统阀 组连接 预抽 能耗 三通 | ||
【主权项】：
1.一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组，与真空热处理炉相对应，真空热处理炉上设置有真空机组，真空机组包括扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组，其特征在于：所述扩散泵出气口通过三通管路件连接系统阀抽气口和维持阀抽气口；所述维持阀出气口通过真空管道与维持泵抽气口连接；所述前级泵组抽气口设置有三通真空管路，分别与前级泵组抽气口、预抽阀出气口和系统阀出气口连接；所述扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组连接工控系统。
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