[实用新型]蒸镀用基板及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820102299.5 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN208136315U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊;韩乔楠 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀用基板及蒸镀设备。该基板包括：基板本体，所述基板本体的其中一表面上设置有包括铁磁材料的磁性膜层。该基板通过在基板本体的其中一表面上设置磁性膜层，当应用于材料蒸镀时，利用磁场对磁性膜层的吸附力，对基板本体施加朝下垂方向相反的作用力，以避免基板产生下垂，造成由于下垂产生的基板本体上的像素图形区域不能与金属掩膜板上的开口区域准确对位，产生对位误差或者造成制成显示面板产生混色不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 基板本体 磁性膜层 下垂 蒸镀 蒸镀设备 本实用新型 金属掩膜板 对位误差 方向相反 开口区域 铁磁材料 显示面板 像素图形 准确对位 对基板 吸附力 混色 磁场 施加 应用 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用基板，其特征在于，包括：基板本体，所述基板本体的其中一表面上设置有包括铁磁材料的磁性膜层；其中，蒸发源蒸发材料形成在所述表面的相对另一表面；所述磁性膜层包括位于所述表面上不同区域的多个部分，其中每一部分的所述磁性膜层在所述表面上的设置区域分别与所述基板本体的其中一像素图形区域对应。
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