[实用新型]一种溅射装置

摘要

本实用新型涉及一种溅射装置，包括第一旋转靶材、第二旋转靶材、被溅镀物、主遮挡板单元、溅镀罩单元、控制部以及靶材；第一旋转靶材和第二旋转靶材并列设置、呈正棱柱状且能够中心旋转；被溅镀物设置在第一旋转靶材和第二旋转靶材的下方；主遮挡板单元设置在第一旋转靶材、第二旋转靶材及被溅镀物之间；溅镀罩单元设置在主遮挡板单元及被溅镀物之间；控制部用于控制第一旋转靶材、第二旋转靶材、主遮挡板单元以及溅镀罩单元；第一旋转靶材、第二旋转靶材侧面分别设置释放不同溅镀物质的靶材。本方案能够满足利用两种靶材，在一个基板上用一次工艺溅镀多种混合比例的薄膜，或能够在一个基板上溅镀具有特定混合比例的两种溅镀物质的薄膜。

主权项

1.一种溅射装置，其特征在于，包括第一旋转靶材、第二旋转靶材、被溅镀物、主遮挡板单元、溅镀罩单元、控制部以及靶材；其中：第一旋转靶材和第二旋转靶材并列设置、呈正棱柱状且能够以中心轴为中心旋转；所述被溅镀物设置在所述第一旋转靶材和第二旋转靶材的下方，被溅镀所述第一旋转靶材、第二旋转靶材分别释放的溅镀物质；所述主遮挡板单元设置在所述第一旋转靶材、第二旋转靶材及所述被溅镀物之间并且覆盖或暴露所述被溅镀物；所述溅镀罩单元设置在所述主遮挡板单元及所述被溅镀物之间并且能够水平方向移动、备有溅镀模板；所述控制部用于控制所述第一旋转靶材、第二旋转靶材、主遮挡板单元以及溅镀罩单元；所述第一旋转靶材、第二旋转靶材的正棱柱的侧面分别设置释放不同溅镀物质的靶材。