[实用新型]一种高密度等离子体机台射频带连接结构有效
| 申请号： | 201820119366.4 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN207765399U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黄彪;刘涛;张波 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201200 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种高密度等离子体机台射频带连接结构，包括至少一个的射频带，所述射频带两端设置圆弧形连接端，在所述圆弧形连接端上设置有连接孔，在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层；电源供应端，连接所述射频带一端；顶部射频源连接端，连接所述射频带。本实用新型的高密度等离子体机台射频带将裸露的射频带设置绝缘层做绝缘处理，加装防火、抗电弧、耐高温的绝缘层，防止因射频带和其它金属部件接触而触发电弧，引发火灾及人员伤害。将射频带分设置在圆弧形顶端的多个方向，减少射频带之间的电弧影响和金属部件的堆缠。使其不会有漏电的风险，并能稳定固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 射频带 绝缘层 高密度等离子体 机台 电弧 本实用新型 圆弧形连接 金属部件 连接结构 电源供应端 圆弧形顶端 绝缘处理 两端设置 人员伤害 漏电 非圆弧 抗电弧 连接端 连接孔 耐高温 射频源 形连接 触发 加装 裸露 防火 火灾 | ||
【主权项】：
1.一种高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：包括至少一个的射频带，所述射频带两端设置圆弧形连接端，在所述圆弧形连接端上设置有连接孔，在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层；电源供应端，连接所述射频带一端；顶部射频源连接端，连接所述射频带。
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