[实用新型]一种高密度等离子体机台射频带连接结构有效

专利信息
申请号: 201820119366.4 申请日: 2018-01-24
公开(公告)号: CN207765399U 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 黄彪;刘涛;张波 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01L21/67
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 201200 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供了一种高密度等离子体机台射频带连接结构,包括至少一个的射频带,所述射频带两端设置圆弧形连接端,在所述圆弧形连接端上设置有连接孔,在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层;电源供应端,连接所述射频带一端;顶部射频源连接端,连接所述射频带。本实用新型的高密度等离子体机台射频带将裸露的射频带设置绝缘层做绝缘处理,加装防火、抗电弧、耐高温的绝缘层,防止因射频带和其它金属部件接触而触发电弧,引发火灾及人员伤害。将射频带分设置在圆弧形顶端的多个方向,减少射频带之间的电弧影响和金属部件的堆缠。使其不会有漏电的风险,并能稳定固定连接。
搜索关键词: 射频带 绝缘层 高密度等离子体 机台 电弧 本实用新型 圆弧形连接 金属部件 连接结构 电源供应端 圆弧形顶端 绝缘处理 两端设置 人员伤害 漏电 非圆弧 抗电弧 连接端 连接孔 耐高温 射频源 形连接 触发 加装 裸露 防火 火灾
【主权项】:
1.一种高密度等离子体机台射频带连接结构,其特征在于:包括至少一个的射频带,所述射频带两端设置圆弧形连接端,在所述圆弧形连接端上设置有连接孔,在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层;电源供应端,连接所述射频带一端;顶部射频源连接端,连接所述射频带。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820119366.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top