[实用新型]一种三甲基铝计量输送装置

摘要

本实用新型公开了一种三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器，放置在承重传感器上的TMA蒸发罐，连接TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；出料管路具有质量流量计，质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；补料管路设置有补料气动阀，且补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。该实用新型通过精确的温度控制使TMA蒸发罐内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制以精确控制TMA的量，控制精度高，过程相对简便，管道不易堵塞，维护比较方便。

主权项

1.一种三甲基铝计量输送装置，其特征在于，包括：承重传感器，放置在所述承重传感器上的TMA蒸发罐，连接所述TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；所述TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；所述出料管路具有质量流量计，所述质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；所述吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；所述补料管路设置有补料气动阀，且所述补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。