[实用新型]一种真空镀膜装置

摘要

本实用新型提供一种真空镀膜装置，具体涉及真空镀膜技术领域，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内设有蒸发底板，蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个蒸发正电极和一个蒸发负电极通过一个蒸发舟连接，蒸发底板上设有上端开口处设有蒸发罩的围槽，围槽和蒸发罩之间形成容纳腔，蒸发正电极、蒸发负电极和蒸发舟均位于容纳腔内，位于容纳腔内的蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，第一挡板将蒸发罩分为多个蒸发区，一个蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个蒸发舟。本实用新型设有第一挡板形成蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

主权项

1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内设有蒸发底板，所述蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个所述蒸发正电极和一个所述蒸发负电极通过一个所述蒸发舟连接，所述蒸发底板上设有上端开口的围槽，所述围槽的开口处设有蒸发罩，所述围槽和所述蒸发罩之间形成容纳腔，所述蒸发正电极、所述蒸发负电极和所述蒸发舟均位于所述容纳腔内，位于所述容纳腔内的所述蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，所述第一挡板将所述蒸发罩分为多个蒸发区，一个所述蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个所述蒸发舟。