[实用新型]多通道集成滤光片的漫反射光隔离结构

摘要

本实用新型揭示了一种多通道集成滤光片的漫反射光隔离结构，包括设置在基片表面的喷砂处理面，设置在喷砂处理面上的黑铬金属膜层，还包括设置在黑铬金属膜层上的消光层。本实用新型利用黑铬金属膜层满足光学透过性能低的要求，同时，利用由四层氧化物光学薄膜组成的消光层降低黑铬金属膜层的剩余反射率，再者，通过设置粗糙的喷砂处理面，使得黑铬金属膜层具有漫反射特性，在各个方向都具有较低的剩余反射率，并使得黑铬金属膜层与基片结合得更牢固可靠；可有效实现多通道集成滤光片各通道之间的隔离，保障多通道集成滤光片的工作性能，还具有使用寿命长的优点。

主权项

1.一种多通道集成滤光片的漫反射光隔离结构，其特征在于，包括设置在基片表面的喷砂处理面，所述喷砂处理面的分布区域与多通道集成滤光片通道间的空白区域相对应；黑铬金属膜层，所述黑铬金属膜层设置在所述喷砂处理面上，以阻止光线通过；还包括消光层，所述消光层由第一氧化铬膜层、第一二氧化硅膜层、第二氧化铬膜层、第二二氧化硅膜层组成，所述第一氧化铬膜层设置在所述黑铬金属膜层上，所述第一二氧化硅膜层设置在所述第一氧化铬膜层上，所述第二氧化铬膜层设置在所述第一二氧化硅膜层上，所述第二二氧化硅膜层设置在所述第二氧化铬膜层上。