[实用新型]一种在线检测研磨垫使用周期的装置有效
| 申请号： | 201820163104.8 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN207937389U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 戴文俊 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;尹一凡 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种在线检测研磨垫使用周期的装置，设于研磨垫修整器内部，研磨垫修整器内部设有压力机构，所述装置包括：上电极，联动设于压力机构的下端；下电极，固设于研磨垫修整器内部的底面上；电源，用于与上电极和下电极形成测量回路；算法控制单元，用于当上电极随压力机构下降进行研磨垫修整时，根据上电极与下电极之间侧面接触面积的变化所引起的测量回路电阻变化，计算研磨垫消耗率，以计算出研磨垫使用寿命。本实用新型通过电流与电阻大小变化关系来具体量化研磨垫的使用寿命，可实时对研磨垫使用周期进行在线监控。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 电极 研磨垫修整器 使用周期 压力机构 下电极 本实用新型 使用寿命 在线检测 测量 算法控制单元 侧面接触 大小变化 回路电阻 在线监控 消耗率 电阻 固设 联动 下端 修整 电源 量化 | ||
【主权项】：
1.一种在线检测研磨垫使用周期的装置，设于研磨垫修整器内部，所述研磨垫修整器内部设有压力机构，其特征在于，所述装置包括：上电极，联动设于压力机构的下端；下电极，固设于研磨垫修整器内部的底面上；电源，用于与上电极和下电极形成测量回路；算法控制单元，用于当上电极随压力机构下降进行研磨垫修整时，根据上电极与下电极之间侧面接触面积的变化所引起的测量回路电阻变化，计算研磨垫消耗率，以计算出研磨垫使用寿命。
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