[实用新型]一种晶体生长设备监控装置有效
| 申请号： | 201820176647.3 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN207919022U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 刘绍磊;张玉艳;李玉杰;于宏涛;张娜 | 申请（专利权）人： | 沈阳奎昊电力机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241 | 代理人： | 屈芳 |
| 地址： | 110136 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶体生长设备监控装置，包括触摸屏、给料控制单元、升降控制单元以及气体控制单元，触摸屏安装在一工作台上，触摸屏实现对晶体生长设备运行监视过程、操作过程以及参数的记录过程；触摸屏背板的232接口与所述升降控制单元连接，升降控制单元控制升降电机，升降电机驱动升降机构控制晶体生长炉的升降，触摸屏背板485的接口与气体控制单元连接，气体控制单元调节氧气阀和氢气阀的开度调节晶体生长炉燃烧所需氧气和氢气量，触摸屏背板的以太网接口与给料控制单元连接，给料控制单元调节给料电机旋转速度和振幅调节晶体生长过程中给料量。本实用新型的优点对晶体生长炉的集中监视、集中操作、自动控制、自动调节参数。 | ||
| 搜索关键词： | 触摸屏 晶体生长设备 气体控制单元 升降控制单元 给料控制 背板 本实用新型 晶体生长炉 监控装置 晶体生长过程 自动调节参数 以太网接口 操作过程 单元调节 单元连接 给料电机 集中操作 集中监视 记录过程 开度调节 控制晶体 控制升降 升降电机 升降机构 运行监视 振幅调节 给料量 氢气阀 氢气量 生长炉 氧气阀 氧气 升降 电机 燃烧 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长设备监控装置，其特征在于，包括：触摸屏、给料控制单元、升降控制单元以及气体控制单元，所述触摸屏实现对晶体生长设备运行监视过程、操作过程以及参数的记录过程；触摸屏背板的232接口与所述升降控制单元连接，升降控制单元通过PLC控制升降电机，升降电机驱动升降机构控制晶体生长炉的升降，触摸屏背板的485接口与气体控制单元连接，气体控制单元通过调节氧气阀的开度调节晶体生长炉燃烧所需氧气量，通过调节氢气阀的开度调节晶体生长炉燃烧所需氢气量；触摸屏背板的以太网接口与给料控制单元连接，给料控制单元通过调节给料电机旋转速度和振幅来调节晶体生长过程中的给料量。
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