[实用新型]一种玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机有效
申请号: | 201820188913.4 | 申请日: | 2018-02-01 |
公开(公告)号: | CN207961804U | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 吴文东;何维;王海彬;江炜 | 申请(专利权)人: | 佛山优维士光电科技有限公司 |
主分类号: | F16L21/02 | 分类号: | F16L21/02;H01J9/38 |
代理公司: | 佛山市顺德区荣粤专利代理事务所(普通合伙) 44359 | 代理人: | 王玉梅;关健垣 |
地址: | 528237 广东省佛山市南海区狮山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机,包括具有金属进气管的高真空金属扩散泵、玻璃管道及连接金属进气管和玻璃管道排气端的接驳装置,接驳装置包括金属连接接头、紧压在金属连接接头上部的上压盖、连接在金属连接接头下部的金属连接管及嵌入金属连接接头内的密封组件,金属连接接头、上压盖及密封组件均套装在玻璃管道上;密封组件包括一级密封圈、中间压环、二级密封圈及上压环,上压盖通过紧固件锁紧在金属连接接头上并向下紧压上压环;金属连接管与金属进气管通过哈夫夹密封组件接驳并连通。本实用新型通过金属连接接头、上压盖及密封组件实现玻璃管道与高真空金属扩散泵金属进气管的连通,保证两者之间连接的密封性能。 | ||
搜索关键词: | 金属连接 玻璃管道 密封组件 进气管 上压盖 金属扩散泵 金属连接管 充排气机 接驳装置 高真空 上压环 金属 紧压 连通 本实用新型 二级密封圈 一级密封圈 连接金属 密封性能 紧固件 中间压 哈夫 接驳 排气 锁紧 嵌入 保证 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机,包括具有金属进气管(11)的高真空金属扩散泵(1)、具有充气端和排气端的玻璃管道(2)及连接金属进气管(11)和玻璃管道(2)排气端的接驳装置,其特征在于:所述接驳装置包括金属连接接头、紧压在金属连接接头上部的上压盖(3)、连接在金属连接接头下部的金属连接管(4)及嵌入金属连接接头内的密封组件,金属连接接头、上压盖(3)及密封组件均套装在玻璃管道(2)上;所述密封组件包括自下而上依次叠置的一级密封圈(51)、中间压环(52)、二级密封圈(53)及上压环(54),上压盖(3)通过紧固件锁紧在金属连接接头上并向下紧压上压环(54);所述金属连接管(4)与金属进气管(11)通过哈夫夹密封组件(55)接驳并连通。
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