[实用新型]CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统

摘要

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，反应室(2)位于电器箱(1)上方，所述反应室(2)的底部设置有导热板(3)，所述导热板(3)内嵌置有加热板(4)，所述加热板(4)包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱(1)和反应室(2)后连接至变压器(106)；有一温度传感器(103)安装于反应室(2)的内壁上，且温度传感器(103)的导线穿出反应室(2)的壳体后经由穿线孔(1.1)连接至处理器(111)。本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，能耗低且感应快。

主权项

1.一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，其特征在于：所述系统包含有电器箱(1)和反应室(2)，所述反应室(2)位于电器箱(1)上方，所述电器箱(1)内安装有PCB线路板(101)，所述电器箱(1)的箱壁上安装有接线端子(102)，且电器箱(1)的箱壁上开设有穿线孔(1.1)；所述反应室(2)的底部设置有导热板(3)，所述导热板(3)内嵌置有加热板(4)，所述加热板(4)包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱(1)和反应室(2)后连接至变压器(106)，且铠装电缆上串接有一继电器(105)的被控制端，该继电器(105)的控制端通过导线连接至处理器(111)；三相电源线穿过穿线孔(1.1)连接至PCB线路板(101)上的整流模块(107)，所述整流模块(107)经安装于PCB线路板(101)上的逆变器(108)后通过导线连接至变压器(106)，且逆变器(108)和变压器(106)之间的导线上设置有互感器模块(109)，所述互感器模块(109)安装于PCB线路板(101)，且互感器模块(109)连接至PWM驱动电路(110)，所述PWM驱动电路(110)连接至逆变器(108)；有一温度传感器(103)安装于反应室(2)的内壁上，且温度传感器(103)的导线穿出反应室(2)的壳体后经由穿线孔(1.1)连接至处理器(111)。