[实用新型]石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置

摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，坩埚加热板上设置有模具加热管组，模具加热管组与三相供电电路相连，它包括控制器、电流传感器和报警装置，电流传感器连接在三相供电电路的零线上，以便通过电流传感器检测经过零线的电流值，电流传感器和控制器的信号输入端相连，以便电流传感器将检测到的电流值反馈至控制器；报警装置的信号输入端和控制器相连，以便控制器接收到的电流值超出控制器所设置的电流值区间时，控制器控制报警装置动作。本实用新型在坩埚加热板的模具加热管出现故障后可通过电流的变动及时检测出，并通过报警装置使工人知晓，便于工人及时对坩埚加热板进行检修、更换，以防因加热不均造成产品缺陷。

主权项

1.一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，加热单元包括坩埚加热板，坩埚加热板上设置有模具加热管组，模具加热管组与三相供电电路相连，以便通过三相供电电路为模具加热管组供电，其特征在于，它包括：控制器(1)；电流传感器(2)，所述电流传感器(2)连接在三相供电电路的零线(3)上，以便通过电流传感器检测经过零线(3)的电流值，所述电流传感器(2)和控制器(1)的信号输入端相连，以便电流传感器(2)将检测到的电流值反馈至控制器(1)；报警装置，所述报警装置的信号输入端和控制器(1)相连，以便控制器(1)接收到的电流值超出控制器(1)所设置的电流值区间时，所述控制器(1)控制报警装置动作。