[实用新型]CMP设备腔室保湿用喷雾器有效
| 申请号： | 201820203197.2 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN208018809U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 贾弘源;董兵超;许振杰;姚宇;尹士龙;崔凯;王同庆;李昆;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种CMP设备腔室保湿用喷雾器，CMP设备腔室保湿用喷雾器包括：储液罐；喷雾管座，喷雾管座设在储液罐上，喷雾管座上设有进液接头以向储液罐内注入液体；喷雾组件，喷雾组件与喷雾管座相连，喷雾组件包括：喷液吸管，喷液吸管的一端与储液罐连通；二流体喷雾头，二流体喷雾头设在喷液吸管的另一端以将储液罐内的液体雾化喷出。根据本实用新型实施例的CMP设备腔室保湿用喷雾器，通过喷雾组件便于将储液罐中的液体经由喷液吸管再由二流体喷雾头喷出，且二流体喷雾头的位置可以灵活设置，从而满足抛光腔室内部及各个模块表面保湿的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 保湿 吸管 流体喷雾头 喷雾组件 喷雾器 储液罐 喷雾管 喷液 腔室 本实用新型 储液 喷出 进液接头 灵活设置 模块表面 液体雾化 注入液体 抛光腔 室内部 连通 | ||
【主权项】：
1.一种CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，包括：储液罐；喷雾管座，所述喷雾管座设在所述储液罐上，所述喷雾管座上设有进液接头以向所述储液罐内注入液体；喷雾组件，所述喷雾组件与所述喷雾管座相连，所述喷雾组件包括：喷液吸管，所述喷液吸管的一端与所述储液罐连通；二流体喷雾头，所述二流体喷雾头设在所述喷液吸管的另一端以将所述储液罐内的液体雾化喷出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;天津华海清科机电科技有限公司，未经清华大学;天津华海清科机电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820203197.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种采用液压二氧化碳为溶剂的喷涂设备
- 下一篇：一种SNCR脱硝喷管
