[实用新型]一种管式PECVD自动上下料装置

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD自动上下料装置，涉及太阳能电池设备技术领域；包括悬臂结构、手抓结构、升降结构以及相平行的两条竖向型材，且两条竖向型材上均设置有悬臂结构，升降结构用于驱动悬臂结构在竖向型材上往复运动；悬臂结构包括第一悬臂和第二悬臂，第一悬臂的中部安装在竖向型材上，第一悬臂的下表面滑动安装有第一连接板，第一连接板在第一悬臂上往复运动；第二悬臂与第一连接板固定连接，第二悬臂的下表面滑动安装有第二连接板，第二连接板在第二悬臂上往复运动；手抓结构固定安装在第二连接板上；本实用新型的有益效果是：增加了管式PECVD自动上下料装置的承载能力，提高了自动上下料是速度，提高生产效率。

主权项

1.一种管式PECVD自动上下料装置，其特征在于：包括悬臂结构、手抓结构、升降结构以及相平行的两条竖向型材，且两条竖向型材上均设置有悬臂结构，所述的升降结构用于驱动悬臂结构在竖向型材上往复运动；所述的悬臂结构包括第一悬臂和第二悬臂，所述第一悬臂的中部安装在竖向型材上，第一悬臂的下表面滑动安装有第一连接板，第一连接板在第一悬臂上往复运动；所述的第二悬臂与第一连接板固定连接，第二悬臂的下表面滑动安装有第二连接板，所述第二连接板在第二悬臂上往复运动；所述的手抓结构固定安装在第二连接板上，通过该手抓结构对石墨舟进行抓取。