[实用新型]一种MEMS加速度计有效
| 申请号： | 201820204732.6 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN208314017U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郑青龙 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS加速度计，包括：基板、可动部件以及固定电极组；基板表面具有锚定区域；可动部件通过支撑梁与锚定区域连接，并悬置于基板上方，可动部件包括第一质量块和第二质量块；第一质量块的中部具有第一镂空区域，第一镂空区域为“工”形，第二质量块位于第一镂空区域中；固定电极组包括第一电极组，第一电极组固定于基板表面，位于基板与可动部件之间，并与第一质量块和第二质量块形成Z轴检测电容组，以检测沿Z轴输入的加速度。本实用新型的MEMS加速度计的两个质量块在Y轴方向上间隔设置，使得加速度计不仅可以减小应力引起的基板翘曲的影响，还可以减小质量块初始状态的偏转引起的零偏。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 可动部件 镂空区域 基板 本实用新型 第一电极组 固定电极 基板表面 锚定区域 减小 偏转 基板翘曲 加速度计 间隔设置 检测电容 支撑梁 零偏 检测 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS加速度计，其特征在于，包括：基板、可动部件以及固定电极组；所述基板表面具有锚定区域；所述可动部件通过支撑梁与所述锚定区域连接，并悬置于所述基板上方，所述可动部件包括第一质量块和第二质量块；所述第一质量块的中部具有第一镂空区域，所述第一镂空区域为“工”形，所述第二质量块位于所述第一镂空区域中；所述固定电极组包括第一电极组，所述第一电极组固定于所述基板表面，位于所述基板与所述可动部件之间，并与所述第一质量块和所述第二质量块形成Z轴检测电容组，以检测沿Z轴输入的加速度，所述Z轴为垂直于所述可动部件所在平面的方向。
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