[实用新型]单腔叠层薄膜沉积设备

摘要

本实用新型的单腔叠层薄膜沉积设备，其包括进气装置，所述进气装置包括气体出气口；隔离装置，所述隔离装置包括气体出气口周围，隔离装置使得气体的混合反应在空间上实现局域化，(AB/AB.../CB/CB...)...式周期复合结构叠层薄膜所需三种气体四个出气口以及分布在第一反应气体进气口与第三反应气体进气口周围的隔离装置组成最小周期复合结构单元，出气口[(AB)x(CB)y]m，x≥1，y≥1，m≥1。本设备包括一个周期或一个以上周期复合结构单元(AB)x(CB)y。驱动装置，其用于驱动所述待处理衬底或者驱动进气装置；基于本实用新型设计，待处理衬底在多个周期不同薄膜局域化独立反应空间中相对运动，沉积对应的薄膜。

主权项

1.一种单腔叠层薄膜沉积设备，其包括：进气装置，含第一出气口，其用于向待处理衬底输送第一反应气体A；第二出气口用于向所述待处理衬底输送第二反应气体B；第三出气口，其用于向所述待处理衬底输送第三反应气体C；第四出气口，用于向所述待处理衬底输送第二反应气体B；隔离装置，分布在所述第一反应气体与第三反应气体出气口周围，隔离装置使得第一反应气体与第二反应气体的混合反应在空间上实现局域化，同时第三反应气体与第二反应气体的混合反应在空间上实现局域化；(AB/AB.../CB/CB...)...式周期复合结构叠层薄膜所需三种气体四个出气口以及分布在第一反应气体出气口与第三反应气体出气口周围的隔离装置组成最小周期复合结构单元，出气口[(AB)x(CB)y]m，x≥1，y≥1，m≥1；待处理衬底载具，用于装载待处理衬底；驱动装置，用于驱动所述进气装置进气口和/或者待处理衬底。